晶圓片在線面掃檢測儀

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MDPinline是一種用于快速定量測量載流子壽命并集成掃描功能的檢測儀。通過工廠安裝的傳送帶將晶圓片移至儀器，在不到一秒的時間內，就可以“動態”測量出晶圓圖。

晶圓片在線面掃檢測儀優勢介紹：一秒一片!可集成在生產線上的高速晶圓載流子壽命的面掃測試，在不到一秒內就能形成單個硅片的二維圖像。

    該儀器本身不使用機械運動部件，因此在連續操作下也非常可靠。它為每個晶圓片提供完整的拓撲結構，這為提高生產線的成本效益和效率提供了新的途徑，而這些都是迄今為止*的。例如，在不到3個小時的時間內，對10000個晶圓片的拓撲結構進行自動統計評估，結果可以顯示出晶體生長爐的性能和材料質量的各種細節。

        實時的質量檢測可以幫助提高和優化諸如擴散和鈍化等處理步驟。在運行的生產過程中，MDPinline可以立即檢測到某個處理步驟的任何故障，從而使產品達到的性能。

  

優勢介紹

◆ 在不到一秒的時間內，可對一個晶圓片進行全電特性測試。測量參數：載流子壽命(拓撲圖)、電阻率(雙線掃描)。

◆在非常短的時間內獲得數以千計的晶圓片的統計信息可有效地幫助晶圓廠控制過程和生產。

◆適用于測量晶圓片的材料質量，以及識別晶圓片層面的結晶問題，例如在光伏行業。

◆適用于擴散過程的完整性控制、鈍化效率和均勻性控制。

技術參數

樣品厚度	100 μm up to 1 mm
樣品尺寸	在125 x 125 和210 x 210 mm2 之間，或 4”到18”
電阻率	0.2 - 103 Ohm cm
傳導類型	p, n
材質	硅晶圓，部分或*加工的晶圓片，復合半導體等
測量性能	少數載流子壽命（穩態或非平衡(μ-PCD)可選擇的）
測量位置	默認2.8 mm， 其它可選
檢測時間	獲得完整的一張晶圓圖時間小于1秒
尺寸	400 x 400 x 450 mm，重量：29 kg
電源	24 V DC, 4 A