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標(biāo)題: Spin Coater勻膠機(jī)采用了多重安全保護(hù) [打印本頁(yè)]

作者: 芒果是只貓 時(shí)間: 昨天 17:59
標(biāo)題: Spin Coater勻膠機(jī)采用了多重安全保護(hù)
　　CIF-Spin Coater勻膠機(jī)進(jìn)行滴膠就是簡(jiǎn)單地把光刻膠滴注到靜止的基片表面的中心，滴膠量為1-10ml不等。滴膠的多少應(yīng)根據(jù)光刻膠的粘度和基片的大小來(lái)確定。粘度比較高和/或基片比較大，往往需要滴較多的膠，以保證在高速旋轉(zhuǎn)階段整個(gè)基片上都涂到膠。動(dòng)態(tài)滴膠方式是在基片低速（通常在500轉(zhuǎn)/分左右）旋轉(zhuǎn)的同時(shí)進(jìn)行滴膠，“動(dòng)態(tài)"的作用是讓光刻膠容易在基片上鋪展開(kāi)，減少光刻膠的浪費(fèi)，采用動(dòng)態(tài)滴膠不需要很多光刻膠就能潤(rùn)濕（鋪展覆蓋）整個(gè)基片表面。尤其是當(dāng)光刻膠或基片本身潤(rùn)濕性不好的情況下，動(dòng)態(tài)滴膠尤其適用，不會(huì)產(chǎn)生針孔。
　　Spin Coater勻膠機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)：
　　1.采用閉環(huán)控制伺服電機(jī)，數(shù)字式增速信號(hào)反饋，速勻準(zhǔn)確，壽命長(zhǎng)，保證勻膠均勻。
　　2.5寸全彩觸摸屏，智能程序化可編程操控顯示，標(biāo)配10個(gè)勻膠梯度階段(速度和時(shí)間梯度設(shè)置)，可選配10個(gè)可編程程序，每個(gè)程序下可設(shè)置10個(gè)勻膠梯度階段，多100個(gè)階段。
　　3.內(nèi)置水平校準(zhǔn)裝置，大限度的保證旋涂均勻，可對(duì)大小不同規(guī)格的基片進(jìn)行旋涂。
　　4、多重安全保護(hù)
　　電磁安全開(kāi)關(guān)，蓋子打開(kāi)卡盤(pán)停止，保證安全；蓋子自鎖功能，防止飛片蓋彈開(kāi)傷人；雙重安全上蓋，聚四氟嵌鑲鋼化玻璃，避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人，大限度保證實(shí)驗(yàn)人員安全。
　　5.一機(jī)兩用，根據(jù)不同樣品可選真空吸盤(pán)和非真空卡盤(pán)兩種旋涂模式。
　　6.不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體，PTFE旋涂腔體，聚丙烯(NPP-H)旋涂托盤(pán)，PTFE嵌鑲鋼化玻璃上蓋，耐酸堿防腐蝕，保證儀器在苛刻條件下仍能正常運(yùn)行。
　　7.勻膠機(jī)適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs，GaN，InP 等多種材料。

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